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2024-08-10T06:51:06
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深硅刻蚀真空镀膜、 磁控溅射、 材料刻蚀、 紫外光刻、 广东省科学院半导体研究所、
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广东省科学【xué】院半导【dǎo】体【tǐ】研究所【suǒ】是直属于广【guǎng】东省科学院【yuàn】的23个骨干科研院所之一,是中国有色金属学【xué】会宽禁带半导体专业委员会【huì】的挂靠【kào】单【dān】位【wèi】,拥有广东【dōng】省固态【tài】紫【zǐ】外光源工程技术研究中心【xīn】、宽禁带【dài】半【bàn】导体材料与器件创新中心、车规级【jí】功率电【diàn】子器件可靠性检测与认证中【zhōng】心等多个省市级平台【tái】。
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